科技“湘”力气丨打破8英寸

时间: 2024-10-28 21:24:21 |   作者: 产品中心

　　8英寸碳化硅外延设备，碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的要害资料，在用来出产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备研发攻关过程中，中国电科第四十八研究所团队先后处理了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题，完成了大尺度外延资料成长所需的均匀、稳定温流场散布，进一步推动碳化硅电力电子器件制作降本增效，标志着国产第三代半导体专用中心配备跨进“8英寸年代”。

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